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研究机构 TECHCET 日前发布报告，预测 2022 年全球电子气体市场规模将达到约 68 亿美元，同比增速达到 8%，并预计到 2026 年，电子气体市场规模将达到每年 90 亿美元。

TECHCET 称，市场增长动能主要源于特种气体，先进制程逻辑、存储产品工艺复杂，工序增加，带动刻蚀气、光刻气等各类特种气体需求，预计这一细分市场增速今年将达到 10%。

TECHCET 警告称，在供应方面，除氖气外，氦气也正遭受俄乌冲突影响，加之其他产区的生产、储运问题，使供应链进一步绷紧。

展望未来数年，随着全球新建晶圆产能陆续开出，三氟化氮 (NF3)、六氟化钨 (WF6) 、乙硼烷 (B2H6) 等关键气体供需也将随之紧张，TECHCET 特别指出，用于工艺腔室清洁的 NF3 可能出现供不应求。