| 工艺节点 | 2026 年底月产能 | 2027 年中月产能目标 | 月产能增加 | 增幅 |
|---|---|---|---|---|
| 2 纳米(2nm) | 9 万片晶圆 | 11 万片晶圆 | 2 万片晶圆 | 22% |
| 3 纳米(3nm) | 18 万片晶圆 | 21 万片晶圆 | 3 万片晶圆 | 16% |
台积电此前表示,2026 年资本将支出 600 亿至 640 亿美元(注:现汇率约合 4,035.12 亿至 4,304.13 亿元人民币),其中约 70%至 80%用于先进制程。
在 3 纳米制程方面,台积电也在美国亚利桑那州园区增加相关产能。早前报道显示,该园区计划于 2027 年下半年启动 3 纳米制程生产。今年 4 月有消息称台积电正把部分 4 纳米产能转换为 3 纳米产能。
台积电并持续冲刺 2 纳米以下更先进的制造工艺技术发展,包括 A16、A14、A13、A12 等。该公司日前并与艾司摩尔共同宣布发起合作,将推动高数值孔径极紫外线面罩(High NA EUV)自有的 6 寸光罩,转移至更大的 12 寸光罩。


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